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  • 抽速是分子泵的******參數(shù),提高轉(zhuǎn)速是加大抽速為直接的方法之一,隨著動平衡技術(shù)的發(fā)展,分子泵轉(zhuǎn)子可順利地在超高轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。隨著材料科學的發(fā)展,分子泵轉(zhuǎn)子材料也發(fā)生了變化,可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成,這使轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速得到進一步提高。

  • 封式旋片泵(即油泵)極限真空能到達10-3mbar,但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題,如果沒有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會引起油污染,從而導致分子泵提供的真空環(huán)境里會存在一定含量的碳氫化合物,影響使用;并且油泵操作溫度較高,如果散熱效果較差,會直接影響客戶的測試結(jié)果;另外還需要定時換油,總體來說維護成本高,能耗大。

  • 分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑,請問油為什么發(fā)黑?或者多長時間油才會變黑?原因:冷卻不良,負載太大。解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查真空系統(tǒng)。

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