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樓主請問:維修愛德華分子泵控制器時(shí)需要注意什么?
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  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí),檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開愛德華分子泵控制器之前,請確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號時(shí),嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。

  • 當(dāng)愛德華分子泵控制器M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時(shí),請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

  • 愛德華分子泵控制器每次停機(jī)后,必須清洗每個(gè)分子泵的入口,以保持其清潔,以避免不必要的損壞。

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