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沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
主營(yíng)：貴金屬材料
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而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝，所需要的靶材純度將要求達(dá)到5甚至6N以上。銅與鋁相比較，銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率，能夠滿(mǎn)足！導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線(xiàn)的需要但卻帶米了其他的問(wèn)題：銅與有機(jī)介質(zhì)材料的附著強(qiáng)度低．并且容易發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致在使用過(guò)程中芯片的銅互連線(xiàn)被腐蝕而斷路。
為了解決以上這些問(wèn)題，需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點(diǎn)、高電阻率的金屬及其化合物，因此要求阻擋層厚度小于50nm，與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的．需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對(duì)困難，金銀泥處理車(chē)間設(shè)備廠(chǎng)家，如今正在研究鉬、鉻等的臺(tái)金作為替代材料。
采用連續(xù)式硫化法的情況下，鞍山金銀泥處理車(chē)間設(shè)備，不會(huì)有因切去加壓成形產(chǎn)生的毛邊或一般的擠壓處理和在硫化處理槽內(nèi)進(jìn)行處理時(shí)橡膠管兩端翹起的部分而導(dǎo)致的橡膠浪費(fèi)，另外能夠縮短制造時(shí)間和減少人工費(fèi)用，因此能夠降低輥筒的制造成本，從這些方面考慮，此方法優(yōu)于間歇式硫化法。
此外，硫化處理后，由于對(duì)每個(gè)輥筒都進(jìn)行了剪切，所以基本上不會(huì)出現(xiàn)上述差別，這樣就可緩解長(zhǎng)度方向的電阻值的不均勻。
背靶材料：
無(wú)氧銅(OFC)– 目前常使用的作背靶的材料是無(wú)氧銅，因?yàn)闊o(wú)氧銅具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性，而且比較容易機(jī)械加工。 如果保養(yǎng)適當(dāng)，哪家有金銀泥處理車(chē)間設(shè)備，無(wú)氧銅背靶可以重復(fù)使用10次甚至更多。
鉬(Mo)– 在某些使用條件比較特殊的情況下，如需要進(jìn)行高溫帖合的條件下，金銀泥處理車(chē)間設(shè)備報(bào)價(jià)，無(wú)氧化銅容易被氧化和發(fā)生翹曲， 所以會(huì)使用金屬鉬為背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數(shù)無(wú)法與無(wú)氧銅匹配，同樣也需要使用金屬鉬作為背靶材料。
溫馨提示：以上是關(guān)于哪家有金銀泥處理車(chē)間設(shè)備-東創(chuàng)貴金屬-鞍山金銀泥處理車(chē)間設(shè)備的詳細(xì)介紹，產(chǎn)品由沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司為您提供，如果您對(duì)沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司產(chǎn)品信息感興趣可以聯(lián)系供應(yīng)商或者讓供應(yīng)商主動(dòng)聯(lián)系您 ，您也可以查看更多與冶煉加工相關(guān)的產(chǎn)品！
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第9年
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