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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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使用電子導電性橡膠時，銀電極頭廠，由于導電性填充劑添加量的變化都會引發(fā)電阻劇烈變化，所以存在電阻值很難控制的問題。而且，由于橡膠中的導電性填充劑難以均勻分散，所以輥筒的圓周方向和寬度方向上的電阻值不均勻。
對橡膠組合物進行硫化處理的方法包括使用加壓裝置和硫化處理槽的間歇式或連續(xù)式硫化法。用間歇式硫化法進行硫化處理制造輥筒時，由于端部和中央部分會產(chǎn)生壓力和熱傳遞差，所以電阻值不均勻。
而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝，所需要的靶材純度將要求達到5甚至6N以上。銅與鋁相比較，銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率，能夠滿足！導體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問題：銅與有機介質(zhì)材料的附著強度低．并且容易發(fā)生反應，導致在使用過程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。
為了解決以上這些問題，需要在銅與介質(zhì)層之間設置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點、高電阻率的金屬及其化合物，因此要求阻擋層厚度小于50nm，與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的．需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對困難，如今正在研究鉬、鉻等的臺金作為替代材料。
陶瓷靶材
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第9年
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