什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,北京流量計(jì)哪家好,以及真空鍍膜設(shè)備,手持式流量計(jì)哪家好,光纖熔煉,智能電磁流量計(jì)哪家好,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。
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流量控制器
一定要按實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示嗎?
不一定。按實(shí)際實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示,顯示的是實(shí)際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)合,只需要找到一個(gè)合適的流量參數(shù)并保證測(cè)量和控制的重復(fù)性,至于該氣體的實(shí)際質(zhì)量流量是多少,用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下,您直接使用廠家的標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品(氮?dú)鈽?biāo)定顯示)也可以。當(dāng)然,如前面所提到的,渦輪流量計(jì)哪家好,您在選定流量規(guī)格時(shí),需要換算一下,以選擇合適的量程。對(duì)于某些用戶,同一個(gè)產(chǎn)品有時(shí)可能會(huì)通不同的氣體,這種情況下,直接使用氮?dú)鈽?biāo)定出廠的產(chǎn)品更方便。
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