流量控制器
怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算?
產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測(cè)量不同的氣體,當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí),實(shí)際的流量值可能不同。我們?cè)谡f明書中給出了不同氣體相對(duì)于標(biāo)定氣體(氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品(按氮?dú)鈽?biāo)定顯示),而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時(shí),先在產(chǎn)品說明書中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測(cè)量過程中,以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量;反之,在確定所購產(chǎn)品的量程時(shí),以實(shí)際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù),即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格,其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品,不必?fù)Q算。
流量控制器
怎樣選擇流量顯示單位?
我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據(jù)用戶的要求設(shè)定。按百分比顯示的方式,即是將 MFM / MFC 的流量測(cè)量值按其占滿量程的百分比來顯示,例如,規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC,當(dāng)顯示值為80%時(shí),實(shí)際的流量為40SCCM。對(duì)任何一種規(guī)格的MFM/MFC,滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直觀,有的用戶不習(xí)慣。
按 SCCM或 SLM顯示,出廠時(shí)對(duì)流量顯示的范圍與相應(yīng)的MFM/MFC的量程進(jìn)行匹配,熱式質(zhì)量流量計(jì),使用時(shí)顯示值即是流量值,很直觀,熱式質(zhì)量流量計(jì)哪家好,符合習(xí)慣,為多數(shù)用戶所采用。 匹配好后,原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是顯示值需要修正。
質(zhì)量流量計(jì)如何工作的
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)件由兩個(gè)插入流體管道中的圓柱形探頭構(gòu)成。被加熱探頭里面含有一個(gè)加熱器,在靠近壁面附近布置一個(gè)溫差熱電偶并用導(dǎo)熱系數(shù)與密度之比較大的石墨填充。探頭內(nèi)布置一個(gè)熱電偶并用石墨填充。為更好的進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量,所用熱電偶均采用直徑為0.1mmK型的NiCr-NiSi.。系統(tǒng)熱平衡分析當(dāng)流量傳感器被置于流體管道中,在流態(tài)穩(wěn)定時(shí),探頭與周圍介質(zhì)處于近似的熱平衡狀態(tài),這時(shí)流體、探頭、測(cè)量桿和管道組成一個(gè)傳熱系統(tǒng),此時(shí)的系統(tǒng)熱平衡方程為:傳感器世界2007.9.靜態(tài)變化函數(shù)曲線氣流方向閥門待標(biāo)定流量計(jì)。標(biāo)定方案示意圖。標(biāo)定曲線利用傳熱學(xué)理論,結(jié)合熱式流量計(jì)應(yīng)用的工況場(chǎng)合,對(duì)于實(shí)際的熱交換過程有: 1、熱探頭與流體間的對(duì)流換熱對(duì)流換熱a包括受迫對(duì)流換熱和自然對(duì)流換熱。假設(shè)流管橫置,熱探頭壁面與流體溫差為60*C,則當(dāng)流體流速大于1m/s時(shí),G/e2<0.1,此時(shí)自然對(duì)流換熱與由于流體運(yùn)動(dòng)所導(dǎo)致的受迫對(duì)流換熱相比十分微弱。實(shí)際測(cè)量中G/2<<1,可以忽略自然對(duì)流換熱的影響。 2、熱探頭向測(cè)量桿構(gòu)架的導(dǎo)熱02隨著構(gòu)架材料導(dǎo)熱系數(shù)的不同,02差別很大。在探頭設(shè)計(jì)中,盡可能采用導(dǎo)熱系數(shù)小的材料制造構(gòu)架并采用絕熱、絕緣硅膠對(duì)探頭密封以減少導(dǎo)熱量。導(dǎo)熱量02計(jì)算公式如下:,熱式質(zhì)量流量計(jì)多少錢,dt A一桿構(gòu)架的橫截面積;A―桿構(gòu)架導(dǎo)熱系數(shù)。 3、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)熱探頭向周圍的輻射換熱03熱探頭表面溫度為,它要向氣流和另一個(gè)探頭進(jìn)行輻射換熱。將探頭表面磨光或鍍上一層發(fā)射率小的金屬并使其溫度保持在100*C之內(nèi),以減小輻射換熱。根據(jù)輻射換熱公式:一斯特藩一波爾茲曼常數(shù);4一探頭外表面面積;一熱探頭溫度;T:來流溫度。
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