如何提高流量控制器的準(zhǔn)確度?
提高氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)用準(zhǔn)確度的措施為:
1.針對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際工藝參數(shù),大流量流量計(jì)哪里有,對(duì)該流量計(jì)進(jìn)行“個(gè)性化標(biāo)準(zhǔn)”,從而實(shí)現(xiàn)在實(shí)際使用流量點(diǎn)的一定范圍內(nèi),該氣體質(zhì)量流量控制器的實(shí)際測(cè)量誤差(與標(biāo)準(zhǔn)值的差)趨于零。
2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié),減少或消除機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力和機(jī)械振動(dòng)等對(duì)該流量計(jì)使用的影響。
3.考慮工藝壓力、溫度等對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量準(zhǔn)確度的影響。
4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。
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流量控制器
越來越多的朋友對(duì)氣體質(zhì)量流量計(jì)﹑質(zhì)量流量控制器產(chǎn)生了濃厚的興趣。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC),大流量流量計(jì)多少錢, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,大流量流量計(jì),MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,大流量流量計(jì)報(bào)價(jià),即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。
流量控制器基本原理
通過測(cè)量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來計(jì)量氣體流量的。氣體通過的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件,其中一個(gè)作為溫度檢測(cè),另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。
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