五、實(shí)例介紹以昊量光電推出的Test Chart標(biāo)準(zhǔn)尺系列為例,玻璃光刻靶生產(chǎn)廠家,該系列靶片采用高精度的電子束光刻技術(shù)制作,圖案蝕刻在具有廣譜透射性的石英襯底上。通過燒蝕鉻層的方式形成精細(xì)的圖案結(jié)構(gòu),分辨率可達(dá)到3300 lp/mm。這些靶片提供了多種圖案選擇,如線條、星狀、方格等,并可用于配各類顯微鏡物鏡使用。六、總結(jié)光刻高精度靶作為微電子技術(shù)中不可或缺的校準(zhǔn)和測試工具,在提升光刻系統(tǒng)分辨率性能方面發(fā)揮著重要作用。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,玻璃光刻靶定做,對光刻高精度靶的精度和穩(wěn)定性要求也越來越高。未來,隨著新材料和新技術(shù)的不斷涌現(xiàn),光刻高精度靶的制作工藝和應(yīng)用領(lǐng)域也將不斷拓展和完善。
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