流量控制器
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
流量控制器
注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)
不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同,浮子流量計(jì),注意選擇適合自己的產(chǎn)品。
質(zhì)量流量控制器(MFC)除工作壓力之外,還有另一項(xiàng)工作壓力指標(biāo):工作壓差,即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差,選型時(shí)要注意,使用時(shí)也要注意。
注意選擇合適的精度指標(biāo)
準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項(xiàng)指標(biāo),其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場合尤為重要。指標(biāo)不一定追求高,應(yīng)考慮自己的實(shí)際需要。
如果對廠家給出的指標(biāo)不放心,有條件的用戶也可以自己標(biāo)定一下。標(biāo)定的方法參見下面的有關(guān)內(nèi)容。
流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小,浮子流量計(jì)公司, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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