氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。檢漏儀自動化程度高:自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。檢漏儀高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達(dá)數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
航天技術(shù)的不斷發(fā)展, 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計制造中必須考慮的關(guān)鍵因素,越來越多的收到各方關(guān)注,相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視,目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品,采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實驗程序。
儀器工作在穩(wěn)定的狀態(tài),在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣, 分別采取持續(xù)抽、空氣清氦、氮氣清氦的清氦方式,儀器再按開始鍵,汽車行業(yè)檢漏公司,記錄清氦所需時間。而通過實驗表明,利用氮氣來清氦的效率是高的。鑒于儀器在檢漏的過程中氮氣清氦的性,對儀器的系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。增加清氦電磁閥。在氦質(zhì)譜檢漏儀中增加氮氣清洗設(shè)置,有效的避免了在檢漏過程中,氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響,另外儀器控制中還可以增加大漏保護(hù)設(shè)置,即儀器在檢測到大漏時,儀器自動停止,防止大量氦氣再進(jìn)入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯的選擇,利于對儀器的清氦,保證儀器檢測的高靈敏度。
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