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Parylene是一種保護(hù)性高分子材料，中文名，環(huán)保氣相沉積，聚對(duì)二甲苯，派瑞林它可在真空下氣相沉積，Parylene活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部，周圍形成無(wú)孔，厚度均勻的透明絕緣涂層。
在鍍膜領(lǐng)域，鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個(gè)重要因素。薄膜的成膜過(guò)程，汽車氣相沉積，是一個(gè)物質(zhì)形態(tài)的轉(zhuǎn)變過(guò)程，不可避免地在成膜后的膜層中會(huì)有應(yīng)力存在，對(duì)于多層膜來(lái)說(shuō)有不同膜料的組合，各膜層體現(xiàn)出的應(yīng)力是有所不同的，有的是張應(yīng)力、有的是壓應(yīng)力，還有膜層及基片的熱應(yīng)力。
基材夾持系統(tǒng)：在真空環(huán)境下，氣相沉積，使用基材夾持系統(tǒng)固定基材并控制其位置?；牡奈恢煤徒嵌葘?duì)鍍膜質(zhì)量有重要影響，因此需要控制。
沉積過(guò)程：蒸發(fā)的有機(jī)高分子材料氣態(tài)物質(zhì)在基材表面冷凝或沉積形成薄膜。這個(gè)過(guò)程可能受到溫度、真空度、蒸發(fā)速率等多種因素的影響，因此需要控制這些參數(shù)以獲得理想的鍍膜效果?？刂葡到y(tǒng)：鍍膜設(shè)備通常配備有的控制系統(tǒng)，用于監(jiān)控和調(diào)節(jié)鍍膜過(guò)程中的各項(xiàng)參數(shù)。這些參數(shù)包括溫度、真空度、蒸發(fā)速率、膜層厚度等。通過(guò)控制這些參數(shù)，可以獲得均勻、致密、性能優(yōu)良的有機(jī)高分子鍍膜。
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第7年
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