流量控制器的特點(diǎn)
地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達(dá)0~5 sccm,流量范圍可達(dá)0~200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1,轉(zhuǎn)子流量計(jì)哪家好, 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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流量控制器
怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算?
產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測(cè)量不同的氣體,當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí),實(shí)際的流量值可能不同。我們?cè)谡f明書中給出了不同氣體相對(duì)于標(biāo)定氣體(氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品(按氮?dú)鈽?biāo)定顯示),超聲波流量計(jì)哪家好,而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時(shí),先在產(chǎn)品說明書中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測(cè)量過程中,以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量;反之,在確定所購(gòu)產(chǎn)品的量程時(shí),以實(shí)際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù),即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,流量計(jì)哪家好,其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 ,液體質(zhì)量流量計(jì)哪家好, 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品,不必?fù)Q算。
流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程, 在工作的過程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí), 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
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