光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,凈化工程設(shè)計(jì)施工多少錢(qián),但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,株洲凈化工程設(shè)計(jì)施工,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。
潔凈室的管理規(guī)范:
1、嚴(yán)格各類(lèi)設(shè)備,設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類(lèi)設(shè)備,凈化工程設(shè)計(jì)施工報(bào)價(jià),設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn),包括凈化系統(tǒng),各類(lèi)水,氣,電系統(tǒng),生產(chǎn)工藝設(shè)備和工具(工具夾)等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級(jí)別。
2、清掃,滅菌管理,對(duì)潔凈室內(nèi)的各類(lèi)設(shè)備,設(shè)施的清掃,滅菌以及方法,周期和檢查明確的規(guī)定,防止,梢除潔凈室內(nèi)塵粒,微生物的生產(chǎn),滯留,繁殖。
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