Edwards真空泵維修去哪維修-潽拓光電(圖)

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廣州潽拓光電科技有限公司

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廣州潽拓光電科技有限公司——Edwards真空泵維修去哪維修

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Leybold TMP50德國萊寶分子泵進氣法蘭口DN40KF/DN63ISO-K/DN63CF，出氣法蘭口DN16，分別抽速可達到33 l/s /55 l/s ，轉速為72000rpm，對應的控制器為Leybold NT10 NT12

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萊寶Leybold turbovac MAG W 3200渦輪分子泵

TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半導體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導體工業(yè)，渦輪分子泵用于以下應用場合：- 蝕刻；- 濺射；- 離子注入；- CVD；- 光刻。這些應用中，經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設備的磁懸浮分子泵，以免軸承損壞。尤其對于金屬蝕刻，渦輪分子泵的泵內(nèi)可能發(fā)生沉積現(xiàn)象，選用帶溫度控制的擴展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止這種情況。與機械軸承渦輪分子泵相比，磁懸浮泵的優(yōu)勢在于氣體流量較大時可以防止軸承過熱，能夠有效地防止腐蝕性介質對磁懸浮軸承的損壞。

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潽拓光電成功維修萊寶 Leybold turbovac tw 690 MS分子泵

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