耗材
光刻掩膜板
菲林掩膜板適用于制備線條寬度較大的結(jié)構(gòu),通常在20微米以上。這種掩膜板制備簡單,適合制備相對寬大和較粗糙的圖案。然而,SU8模具加工設(shè)備作用,由于其分辨率有限,無法滿足制備細(xì)致微結(jié)構(gòu)的需求。因此,對于需要制備線條寬度大于20微米的簡單結(jié)構(gòu),菲林掩膜板是一個(gè)合適的選擇。
玻璃掩膜板適用于制備線條寬度小于20微米的精細(xì)結(jié)構(gòu),以及需要多層對準(zhǔn)的情況。玻璃掩膜板的制備工藝更加復(fù)雜,但由于其高分辨率,能夠?qū)崿F(xiàn)更細(xì)致、更精que的微結(jié)構(gòu)。特別是在需要制備復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)且對準(zhǔn)精度要求較高的情況下,玻璃掩膜板具有明顯優(yōu)勢。
在選擇掩膜板類型時(shí),應(yīng)根據(jù)所需制備的圖案特性、線條寬度以及對制備精度和復(fù)雜度的要求進(jìn)行權(quán)衡。菲林掩膜板適用于相對簡單的結(jié)構(gòu),而玻璃掩膜板則更適合制備更細(xì)致和復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)。綜合考慮制備目標(biāo)和技術(shù)要求,選擇適當(dāng)?shù)难谀ぐ孱愋蛯⒂兄诖_保制備過程的成功和效率。
頂旭(蘇州)微控技術(shù)有限公司是一家專注于微流控領(lǐng)域的高科技企業(yè),堅(jiān)持以客戶為中心,不斷挑戰(zhàn)自我,不斷追求zhuo越,通過專ye、創(chuàng)新和合作,SU8模具加工設(shè)備公司,為客戶創(chuàng)造更大的價(jià)值,共同kai創(chuàng)微流控領(lǐng)域的美好未來
勻膠機(jī)
調(diào)速范圍和時(shí)間:I檔:50~10000轉(zhuǎn)/分,時(shí)間0~999s
II檔:50~10000轉(zhuǎn)/分,時(shí)間0~999s適用:直徑5~100mm硅片及其他材料勻膠轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%膠的均勻性:±2%電極功率:40W,SU8模具加工設(shè)備設(shè)計(jì),單相110~240V真空泵抽氣速率:>60L/min
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日常維護(hù)
1、定期清理平行曝光機(jī)的載臺(tái),防止它們因積塵或灰塵而影響加工。
2、保持曝光機(jī)的表面清潔,防止灰塵和雜質(zhì)進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。
微流控芯片加工設(shè)備: 提供豐富多樣的微流控芯片加工設(shè)備,涵蓋SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工??梢詭椭蛻粼谧约旱膶?shí)驗(yàn)室內(nèi)進(jìn)行微流控芯片的快速制作,從而提高實(shí)驗(yàn)效率和靈活性。
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