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潽拓光電:分子泵極限真空
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  • 分子泵的極限真空是指其能夠達(dá)到的低氣壓值,這一數(shù)值是衡量分子泵性能的重要指標(biāo)之一。一般來(lái)說(shuō),渦輪式設(shè)計(jì)的分子泵在良好的工作狀態(tài)下可以達(dá)到10^-9\~ 10^-10 mbar的極限真空范圍(也有說(shuō)法認(rèn)為是在此范圍內(nèi)或接近該水平)。近年來(lái)隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和制造工藝的提升,一些的分子泵甚至可能達(dá)到更高的低氣壓狀態(tài)表現(xiàn)能力上限 。這種高程度的低壓環(huán)境對(duì)于許多科學(xué)實(shí)驗(yàn)、半導(dǎo)體制造以及其他需要超高潔凈度的工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要。需要注意的是,“理論上的零物質(zhì)狀態(tài)的型‘’真空”只是科學(xué)研究中設(shè)想的一種理想化概念;在實(shí)際應(yīng)用中會(huì)受到材料特性限制以及外部條件干擾而難以完全實(shí)現(xiàn)這樣的效果?!皩?shí)際可達(dá)到的佳程度的狀態(tài)”,是不同型號(hào)和應(yīng)用場(chǎng)景下的設(shè)備通過(guò)技術(shù)努力不斷追求的目標(biāo)和方向體現(xiàn)所在之處 。

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