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求幫助!Edwards進口分子泵維修要注意什么內(nèi)容?
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  • 當Edwards進口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時,必須根據(jù)故障提示進行處理。

  • 當出現(xiàn)警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前,請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時,嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。

  • Edwards進口分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應朝上,以防止松弛引起的空氣泄漏

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