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  • 當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時,檢查冷卻水通道是否暢通,并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開愛德華分子泵控制器之前,請確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號時,嚴(yán)禁再次啟動分子泵進(jìn)行后處理。

  • 當(dāng)愛德華分子泵控制器出現(xiàn)故障無法使用時,應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。

  • 當(dāng)愛德華分子泵控制器M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時,請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

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