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請問:維修Edwards進(jìn)口分子泵時需要注意什么? 想知道
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  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動時,檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時,必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。

  • 當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵出現(xiàn)故障無法使用時,應(yīng)暫停生產(chǎn),并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。

  • Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開,必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵

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