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Edwards真空分子泵維修需要注意什么呢? 急!急!急!
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  • 打開Edwards真空分子泵之前,必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后,必須關(guān)閉冷卻水閥。

  • Edwards真空分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。

  • 當(dāng)Edwards真空分子泵M2(方框2)或M7的真空度始終沒有到位時(shí),請(qǐng)檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。

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