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  • 封式旋片泵(即油泵)極限真空能到達(dá)10-3mbar,但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題,如果沒有控制返流的安全閥,或者不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流,不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染,從而導(dǎo)致分子泵提供的真空環(huán)境里會(huì)存在一定含量的碳?xì)浠衔?,影響使用;并且油泵操作溫度較高,如果散熱效果較差,會(huì)直接影響客戶的測(cè)試結(jié)果;另外還需要定時(shí)換油,總體來說維護(hù)成本高,能耗大。

  • 分子泵電源存在接地、屏蔽等問題,應(yīng)如何做才是好的方式?答:電源本身有接地線,只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對(duì)強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)輻射的屏蔽。

  • 分子泵是否對(duì)冷卻有明確要求?如風(fēng)冷需要外界溫度是多少?如水冷則對(duì)水有何具體要求?如未達(dá)到要求會(huì)出現(xiàn)何后果?答:注意水溫和水流量,冷卻不良會(huì)導(dǎo)致無故停機(jī)、碎泵、油變黑等。

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